금속 나노 입자가 적용된 고감도 표면 플라즈몬 공명 센서 및 그 제조 방법

초록

금속 나노 입자를 이용한 고감도 표면 플라즈몬 공명 센서 및 그 제조 방법이 개시된다. 개시된 표면 플라즈몬 공명 센서는 표면 플라즈몬 공명이 발생하는 제1 금속 박막; 제1 금속 박막의 일 표면에서 자가 조립(self-assembly)되는 금속 나노 입자; 및 상기 제1 금속 박막의 일 표면 및 상기 금속 나노 입자 위에 형성되는 제2 금속 박막을 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 표면 플라즈몬 공명 센서의 감도를 향상시킬 수 있는 장점이 있다. 또한, 본 발명에 따른 고감도 표면 플라즈몬 공명 센서 제조에 있어서, 금속 나노 입자를 생성하기 위하여 별도의 리소그라피(lithography) 공정을 필요로 하지 않고, E-beam 증착 공정 및 RTA 공정만으로 제조 가능하므로 제조 공정이 단순하며, 제조 시간 및 비용까지 절감할 수 있다는 장점이 있다.