광도파로 형태의 표면 플라즈몬 공명 센서 및 그 제조방법

초록

표면 플라즈몬 공명 센서와 그 제조방법이 개시된다. 본 발명에 따른 표면 플라즈몬 공명 센서는 기판, 검사광을 생성하여 방출하는 광원부 및 기판 상에 판상으로 형성되며, 입사된 검사광을 가이드하는 광가이드부를 구비한다. 그리고 광가이드부의 일측면에 형성되어 광가이드부를 통해 플라즈몬 공명 현상이 일어나는 소정의 입사각으로 입사된 검사광에 의해 표면 플라즈마파를 형성하고, 플라즈몬 공명 현상이 일어나는 입사각 이외의 각도로 입사된 검사광은 반사시키며, 광가이드부에 접해 있는 면의 타측면에 검사 대상이 되는 시료가 위치하는 금속박막을 구비한다. 또한 금속박막에 의해 반사되어 광가이드부를 통해 출사된 검사광을 검출하는 광검출부를 구비한다. 본 발명에 따르면, 기판 상에 광을 가이드하는 광가이드부를 판상으로 형성하고, 광원부, 광검출부 및 금속박막을 같은 공정을 이용하여 수백 마이크로미터 단위의 단일 칩상에 집적화가 가능하다. 따라서 휴대용 단말기에 적용될 수 있으며, 대량생산을 통해 생산단가를 낮출 수 있다. 또한, 광가이드부의 측면에 금속박막을 형성함으로써 금속박막을 매우 작은 크기로 제작이 가능하여, 극히 미량의 액체 또는 기체도 측정이 가능하게 된다.