BCB 수지로 본딩한 웨이퍼의 본딩 결합력에 관한 연구

A Study on the Bond Strength of BCB-bonded Wafers
  • 권용재
  • 석종원
  • Jian-Qiang Lu
  • Timothy Cale
  • Ronald Gutmann
제목
BCB 수지로 본딩한 웨이퍼의 본딩 결합력에 관한 연구
제목 (타언어)
A Study on the Bond Strength of BCB-bonded Wafers
저자
권용재석종원Jian-Qiang LuTimothy CaleRonald Gutmann
발행일
2007
저널명
Korean Chemical Engineering Research(HWAHAK KONGHAK)
45
5
페이지
479 ~ 486