가압 탄화 공정을 이용한 유리질 탄소 몰드의 제조 방법 및 이를 이용하여 제조된 유리질 탄소 몰드

초록

종래의 유리질 탄소 몰드에 비하여 평탄도를 크게 개선하는 기술을 제공한다. 본 발명의 제1 실시예에 따른 가압 탄화 공정을 이용한 유리질 탄소 몰드의 제조 방법은, 기설정된 패턴이 형성된 마스터 몰드로부터 기설정된 패턴에 상응하는 패턴이 형성되도록 제조된 복제 몰드에 열경화성 수지, 경화제 및 점도 조절용 용매를 포함하는 혼합물을 도포하는 단계; 열경화 처리를 통해 복제 몰드에 혼합물이 경화된 열경화성 수지 패턴부인 폴리머 전구체를 형성하는 단계; 및 복제 몰드를 분리하고, 폴리머 전구체를 내열성을 갖는 베이스 기판상에 위치시키고, 폴리머 전구체와 상기 베이스 기판을 기설정된 기준 압력 미만의 제1 압력으로 가압하면서 기설정된 제1 탄화온도까지 기설정된 승온 속도로 승온시킴으로써 탄화 공정을 수행하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.