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반도체 소자 열관리 모듈 및 이의 제조 방법
Semiconductor device thermal management module and manufacturing method thereof
- 이형순;
- 공대영;
- 김윤서;
- 강민수;
- 김기완;
- 외 1명
초록
본 발명은 반도체 소자 열관리 모듈에 관한 것이다. 본 발명에 의한 반도체 소자 열관리 모듈은, 반도체 소자의 열확산을 위해 그 반도체 소자에 적층되는 열확산 플레이트; 및 상기 열확산 플레이트 상에 형성되는 것으로, 냉각유체가 흐르는 다공성 채널이 형성되어 있는 히트 스프레더;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
- 제목
- 반도체 소자 열관리 모듈 및 이의 제조 방법
- 제목 (타언어)
- Semiconductor device thermal management module and manufacturing method thereof
- 저자
- 이형순; 공대영; 김윤서; 강민수; 김기완; 최호규
- 발행일
- 2023-05-30
- 출원번호
- 10-2021-0073531
- 등록번호
- 10-2539336
- 출원일
- 2021-06-07
- 등록일
- 2023-05-30
- 지식재산권 유형
- 특허
- 양수인
- 중앙대학교 산학협력단