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갈륨-주석 산화물 복합 박막 제조 방법 및 갈륨-주석 산화물 복합 박막
FABRICATION METHOD OF GALLIUM-TIN OXIDE COMPOSITE FILM AND GALLIUM-TIN OXIDE COMPOSITE FILM
- 고중혁;
- 배민성;
- 김태완
초록
갈륨-주석 산화물 복합 박막 제조 방법 및 갈륨-주석 산화물 복합 박막이 개시된다. 상기 갈륨-주석 산화물 복합 박막 제조 방법은 주석(Sn)계 전구체 및 갈륨(Ga)계 전구체를 용액 상에서 혼합하는 제1 단계; 및 상기 용액을 기판 상에 1회 이상 도포 및 경화하는 제2 단계;를 포함할 수 있다.
- 제목
- 갈륨-주석 산화물 복합 박막 제조 방법 및 갈륨-주석 산화물 복합 박막
- 제목 (타언어)
- FABRICATION METHOD OF GALLIUM-TIN OXIDE COMPOSITE FILM AND GALLIUM-TIN OXIDE COMPOSITE FILM
- 저자
- 고중혁; 배민성; 김태완
- 발행일
- 2025-02-03
- 출원번호
- 10-2022-0164398
- 등록번호
- 10-2763986
- 출원일
- 2022-11-30
- 등록일
- 2025-02-03
- 지식재산권 유형
- 특허
- 양수인
- 중앙대학교 산학협력단