3축 힘 측정이 가능한 유연 돔형상 촉각센서, 촉각센서 어레이 및 그 제조방법

초록

본 발명은 3축 힘 측정이 가능한 유연 돔형상 촉각센서, 촉각센서 어레이 및 그 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 촉각센서에 있어서, 각각이 전기적으로 연결되도록 유연 하부 기판 상부에 인쇄되는 어레이 형태의 복수의 하부전극; 상기 하부전극 각각의 상부에 결합되어 3축 힘 측정 가능한 감지층; 각각이 상기 감지층 상부에 결합되며 유연 상부 기판 하부에 인쇄되는 어레이 형태의 복수의 상부전극; 상기 감지층과, 복수의 상부전극을 감싸도록 결합되는 반구형 범프; 및 상기 상부전극 상부에 결합되어, 상기 반구형 범프에 접촉되는 측정대상물체에 의해 발생되는 마찰전기를 측정하는 마찰대전 감지전극를 포함하는 것을 특징으로 하는 3축 힘 측정이 가능한 유연 돔형상 촉각센서에 관한 것이다.