웨이퍼 레벨 렌즈 어레이 성형용 비정질 탄소 몰드 제작 공정 개발

Development of amorphous carbon mold fabrication process for wafer level lens array

키워드

Amorphous carbon mold; Glass molding; Wafer level lens array
제목
웨이퍼 레벨 렌즈 어레이 성형용 비정질 탄소 몰드 제작 공정 개발
제목 (타언어)
Development of amorphous carbon mold fabrication process for wafer level lens array
저자
김영규; Jin, C.; Ali, M.; 김석민
발행일
2022-12
저널명
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
페이지
384 ~ 384