광도파로 형태의 표면 플라즈몬 공명 센서

초록

표면 플라즈몬 공명 센서가 개시된다. 본 발명에 따른 표면 플라즈몬 공명 센서는 광이 투과되는 물질로 형성된 기판을 구비한다. 그리고 제1 클래딩(cladding)층, 외부로부터 입사된 검사광을 가이드하는 코어(core)층 및 제2 클래딩층이 기판 상의 일부분에 순차적으로 적층되어 형성되고, 코어층의 굴절률이 제1 클래딩층 및 제2 클래딩층의 굴절률보다 크게 설정된 광도파로부를 구비한다. 또한, 기판 상에 일측면은 광도파로부의 측면과 접촉되게 배치되고, 타측면은 광도파로부의 상면에 대해 경사지게 형성되어, 코어층으로부터 방출된 검사광을 가이드하는 광가이드부를 구비한다. 그리고 광가이드부의 타측면에 형성되어 광가이드부를 통해 입사되는 검사광 중 플라즈몬 공명 현상이 일어나는 소정의 공명각으로 입사된 검사광에 의해 표면 플라즈마 파를 발생시키고, 공명각 이외의 각도로 입사된 검사광은 반사시키는 금속박막을 구비한다. 본 발명에 따르면, 표면 플라즈몬 공명 센서는 상대적으로 수명이 긴 광원, 검출기 등과 탈부착이 가능하게 되어 저가격화가 가능하게 된다. 그리고 표면 플라즈몬 공명 센서는 폴리머로 제작된 광도파로를 이용하므로 수백 μm 크기의 매우 작은 사이즈로 제작이 가능하게 되어, 극미량의 액체 또는 기체도 측정이 가능하게 된다.