처리 용액 내 오염물 농도의 분석 장치, 분석 방법, 이를 위한 데이터 모델링 방법 및 처리 용액 내 오염물 농도의 분석 시스템

초록

처리 용액 내 오염물 농도의 분석 장치, 분석 방법, 이를 위한 데이터 모델링 방법 및 처리 용액 내 오염물 농도의 분석 시스템에 있어서, 분석 장치는 오염물이 포함된 처리 용액에 대해 라만 분광을 이용하여 피분석 분광 데이터를 생성하는 분광 데이터 생성부와, 라만 분광에 의해 제1 파장 범위에서 오염물을 포함하는 처리 용액과 관련되어 나타나는 라만 피크의 모델링값 및 제2 파장 범위에서 나타나는 백그라운드 피크의 모델링값 중 적어도 어느 하나와 오염물의 농도 사이의 모델링 함수가 저장되고, 분광 데이터 생성부로부터 제공받은 피분석 분광 데이터를 이용하여 모델링 함수로부터 처리 용액 내의 오염물의 농도값을 계산하는 분석부를 포함한다.