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레이저 비아와 나노와이어 잉크를 이용한 적층형 고분자구동기 및 그 고분자구동기의 전기적 연결방법
Electrical Interconnections for Multilayered Metal-Polymer Structures by Using CO2 Laser-Drilled Vias and Conductive Silver Nanowire Ink
- 최승태;
- 조유리;
- 이승민;
- 자우 티 응웬
초록
본 발명은 레이저 비아와 나노와이어 잉크를 이용한 적층형 고분자구동기 및 그 고분자구동기의 전기적 연결방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 유연한 모재와, 상기 모재 상에 증착되는 전극층과, 상기 전극층 상에 라미네이팅되는 유전체고분자층을 갖고, 상기 전극층과 상기 유전체 고분자층이 번갈아 가며 적층된 전극/유전체 고분자 적층구조; 상기 전극/유전체 고분자 적층구조의 일부분에 레이저 드릴링 방법으로 가공하여 계단모양으로 형성된 비아홀; 및 상기 비아홀에 도포되어 상기 비아홀 상에 노출된 복수의 전극들을 전기적으로 연결하는 나노와이어도포층;을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 비아와 나노와이어 잉크를 이용한 적층형 고분자구동기에 관한 것이다.
- 제목
- 레이저 비아와 나노와이어 잉크를 이용한 적층형 고분자구동기 및 그 고분자구동기의 전기적 연결방법
- 제목 (타언어)
- Electrical Interconnections for Multilayered Metal-Polymer Structures by Using CO2 Laser-Drilled Vias and Conductive Silver Nanowire Ink
- 저자
- 최승태; 조유리; 이승민; 자우 티 응웬
- 발행일
- 2023-10-19
- 출원번호
- 10-2021-0054897
- 등록번호
- 10-2593058
- 출원일
- 2021-04-28
- 등록일
- 2023-10-19
- 지식재산권 유형
- 특허
- 양수인
- 중앙대학교 산학협력단