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나노스케일의 금속 나노빔 시험편 제작 및이를 이용한 금 박막 나노 구조물의 기계적 물성 평가
Fabrication of Nanoscale Metal Nanobeam Specimens and Evaluation of the Mechanical Properties of Gold Thin Film Nanostructures
- 백창욱;
- 현익재
초록
- In this paper, fabrication techniques for nanoscale metallic nanobeam specimens have been proposed, and mechanical properties of the fabricated gold nanobeams have been evaluated by nanoindentation techniques and nanobeam bending test. Elastic modulus and hardness of gold nanobeams were measured to be 109.6 ± 10 GPa and 1.73 ± 0.3 GPa, respectively, from the nanoindentation test, while elastic modulus was 241 ± 7 GPa from the nanobeam bending test.
키워드
NEMS; mechanical properties; freestanding specimens; nanoindentation; nanobeam bending method1
- 제목
- 나노스케일의 금속 나노빔 시험편 제작 및이를 이용한 금 박막 나노 구조물의 기계적 물성 평가
- 제목 (타언어)
- Fabrication of Nanoscale Metal Nanobeam Specimens and Evaluation of the Mechanical Properties of Gold Thin Film Nanostructures
- 저자
- 백창욱; 현익재
- 발행일
- 2007
- 저널명
- 전기학회논문지ABCD
- 권
- 56
- 호
- 7
- 페이지
- 1294 ~ 1297
- 출판사
- 대한전기학회
- 분량
- 4 페이지
- ISSN
- P 1229-2443