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고저항 TMDC 물질의 제벡계수 측정 방법
METHOD FOR MEASURING SEEBECK COEFFICIENT OF HIGH RESISTANCE TRANSITION METAL DISCHALCOGENIDE MATERIAL
초록
본 발명의 일 실시예에 따른 고저항 TMDC 물질의 제벡계수 측정 방법은 기판 상에 제벡계수(Seebeck coefficient)의 측정대상인 전이금속 칼코지나이드계 화합물(TMDC)층을 형성하는 단계, 상기 TMDC층 상에 상기 TMDC층 보다 낮은 제벡계수를 가지는 금속층을 형성하는 단계, 상기 금속층을 통해 상기 TMDC층으로 전압을 인가하는 단계 및 상기 인가된 전압에 의해 상기 TMDC층 상에 발생되는 온도 차에 기초하여 상기 TMDC층의 제벡계수를 측정하는 단계를 포함한다.
- 제목
- 고저항 TMDC 물질의 제벡계수 측정 방법
- 제목 (타언어)
- METHOD FOR MEASURING SEEBECK COEFFICIENT OF HIGH RESISTANCE TRANSITION METAL DISCHALCOGENIDE MATERIAL
- 저자
- 이상권
- 발행일
- 2021-12-07
- 출원번호
- 10-2020-0052753
- 등록번호
- 10-2338444
- 출원일
- 2020-04-29
- 등록일
- 2021-12-07
- 지식재산권 유형
- 특허
- 양수인
- 중앙대학교 산학협력단