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산화물 박막 제조방법, 산화물 박막 및 그 전자소자
METHOD FOR MANUFACTURING METAL-OXIDE THIN FILM, METAL-OXIDE THIN FILM, AND ELECTRIC DEVICE THEREOF
- 박성규;
- 김명길;
- 김경태
초록
본 발명은 산화물 박막 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 저온 공정을 이용한 산화물 박막 제조방법, 산화물 박막, 및 그 전자소자에 관한 것이다. 본 발명은 저온 용액 공정으로 고성능의 기능성 산화물 박막을 용이하고 빠른 속도로 형성 할 수 있어 제조비용 및 제조시간을 대폭 단축하여 생산성을 크게 향상시킬 수 있다.
- 제목
- 산화물 박막 제조방법, 산화물 박막 및 그 전자소자
- 제목 (타언어)
- METHOD FOR MANUFACTURING METAL-OXIDE THIN FILM, METAL-OXIDE THIN FILM, AND ELECTRIC DEVICE THEREOF
- 저자
- 박성규; 김명길; 김경태
- 발행일
- 2018-04-06
- 출원번호
- 10-2016-0003832
- 등록번호
- 10-1848481
- 출원일
- 2016-01-12
- 등록일
- 2018-04-06
- 지식재산권 유형
- 특허
- 양수인
- 중앙대학교 산학협력단