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광 센서 소자 및 그 제조 방법

LIGHT SENSOR DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING THEREOF

박성규

초록

본 발명은 광 센서 소자의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 유기물 박막 및 무기물 박막이 일체형(Monolithic)으로 결합된 이종 박막을 포함한 광 센서 소자 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 유기물 박막과 무기물 박막이 일체화된 이종 박막을 형성할 때 자외선 조사를 통하여 선택적으로 유기물 박막을 패터닝하여 동작 성능이 우수하고 신뢰성이 높은 광 센서 소자를 제조할 수 있다.

제목: 광 센서 소자 및 그 제조 방법

제목 (타언어): LIGHT SENSOR DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING THEREOF

저자: 박성규

발행일: 2017-05-04

출원번호: 10-2015-0145102

등록번호: 10-1735073

출원일: 2015-10-19

등록일: 2017-05-04

지식재산권 유형: 특허

양수인: 중앙대학교 산학협력단