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금속 박막형 전극 및 이를 포함하는 전자소자
METAL FILM TYPE ELECTRODE, AND ELECTRONIC DEVICE COMPRISING THE SAME
- 왕동환;
- 조재상;
- 장웅식
초록
본 발명은 비정질 구조인 금속 유리 조성물을 포함하는 금속 박막형 전극 및 이를 포함하는 전자소자에 관한 것으로, 금속 박막의 형태를 가지는 전극 및 이를 적용한 전자소자로서, 금속 박막형 전극은 비정질 구조인 금속 유리 조성물을 포함하고, 상기 금속 유리 조성물이 스퍼터링(Sputtering) 증착되어 형성된다.
- 제목
- 금속 박막형 전극 및 이를 포함하는 전자소자
- 제목 (타언어)
- METAL FILM TYPE ELECTRODE, AND ELECTRONIC DEVICE COMPRISING THE SAME
- 저자
- 왕동환; 조재상; 장웅식
- 발행일
- 2022-09-28
- 출원번호
- 10-2020-0053833
- 등록번호
- 10-2449969
- 출원일
- 2020-05-06
- 등록일
- 2022-09-28
- 지식재산권 유형
- 특허
- 양수인
- 중앙대학교 산학협력단