와이어 그리드 편광자 제조 방법

초록

본 발명에 따르면, 와이어 그리드 편광자를 제조하는 방법에 있어서, 미세 요철 형상의 나노 격자가 형성되어 있는 기판을 준비하는 단계; 상기 나노 격자의 상부에 대하여 회전 경사 증착에 의해 금속 물질 증착을 수행하는 단계를 포함하는 와이어 그리드 편광자 제조 방법을 제공한다. 상기한 본 발명은, 나노 격자 기판 상에 회전 경사 증착 공정을 통해 와이어 그리드 편광자를 보다 저렴한 비용으로 대량 생산할 수 있다.