마이크로웨이브와 광파의 속도정합을 위한 버섯형 전계흡수 광소자

초록

본 발명은 마이크로웨이브와 광파의 속도정합을 위한 버섯형 전계 흡수 광소자에 관한 것으로서, P-i-N구조를 갖는 전계 흡수 광소자에서 P층의 폭을 조절함으로써 광파와 마이크로웨이브 간의 속도를 정합할 수 있는 기술에 관한 것이다. 본 발명에 따른 버섯형 전계 흡수 광소자의 구현방법은 반-절연체 물질인 S.I. 기판(Semi Insulating substrate)위에 도핑된 N+층, 도핑된 N층, bulk 혹은 다중 양자 우물(Multiple Quantum Well:MQW) 등으로 구성된 I층, 도핑된 P-도핑 층으로 구성된 전계흡수 광소자에서 P-도핑층의 폭을 i층보다 넓게 하여 마이크로웨이브의 유효굴절률을 광파의 굴절률만큼 낮추어 광파와 마이크로웨이브의 속도정합을 얻음을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, P-도핑 층의 폭을 흡수층 보다 넓게 한 버섯형 전계 흡수 광소자를 사용하여 광소자의 유효 유전율은 낮추어 광파보다 느렸던 마이크로웨이브의 증가시킴으로써 광파와 마이크로웨이브 간의 속도를 정합시켜 광변조기가 넓은 대역폭을 확보할 수 있다.