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복제 공정 및 금속 전사 효과를 이용한 와이어 그리드 편광자 제작 방법
Fabrication method of wire grid polarizer using metal transfer effect and replication process
- 김석민;
- 장형준;
- 주종현
초록
기존의 와이어 그리드 편광자 제작에 있어서, 플렉서블 기판 또는 대면적 기판에 금속층을 매우 높은 균일도로 형성할 수 있는 새로운 기술을 제공한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 복제 공정 및 금속 전사 효과를 이용한 와이어 그리드 편광자 제작 방법은, 기설정된 패턴이 형성된 몰드 상에, 금속층을 증착시키는 단계; 몰드의 금속층이 증착된 면에 UV경화성 수지를 도포하는 단계; 도포된 UV경화성 수지 상에 베이스 기판을 위치시키고, 베이스 기판과 몰드 사이를 가압하면서 경화 공정을 수행하여, UV경화성 수지에 몰드의 기설정된 패턴이 복제되는 동시에 압착 경화되면서 금속층과 접착되도록 하는 단계; 및 몰드와 금속층이 분리되도록 몰드를 제거하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
- 제목
- 복제 공정 및 금속 전사 효과를 이용한 와이어 그리드 편광자 제작 방법
- 제목 (타언어)
- Fabrication method of wire grid polarizer using metal transfer effect and replication process
- 저자
- 김석민; 장형준; 주종현
- 발행일
- 2017-05-04
- 출원번호
- 10-2015-0190115
- 등록번호
- 10-1735217
- 출원일
- 2015-12-30
- 등록일
- 2017-05-04
- 지식재산권 유형
- 특허
- 양수인
- 중앙대학교 산학협력단