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정렬된 포어를 가지는 열전 박막 및 그 제조방법, 그리고 이를 가지는 열전 소자

THERMOELECTRIC THIN FILM HAVING ALINGED PORES, FABRICATING METHOD THEREOF, AND THERMOELECTRIC DEVICE HAVING THE SAME

이상권;
박노원;
이원용

초록

본 발명의 일 양태에 의하면, 정렬된 포어(pore)를 가지는 열전 박막의 제조방법이 제공된다. 상기 제조방법은, 기판에 구형 구조물들을 단층으로 적층하는 단계; 상기 구형 구조물들의 사이즈를 축소시키는 단계; 상기 축소된 구형 구조물들이 적층된 기판 상에 열전(thermoelectric) 물질을 증착시키는 단계; 및 상기 구형 구조물들을 제거하는 단계;를 포함한다.

제목: 정렬된 포어를 가지는 열전 박막 및 그 제조방법, 그리고 이를 가지는 열전 소자

제목 (타언어): THERMOELECTRIC THIN FILM HAVING ALINGED PORES, FABRICATING METHOD THEREOF, AND THERMOELECTRIC DEVICE HAVING THE SAME

저자: 이상권; 박노원; 이원용

발행일: 2016-01-26

출원번호: 10-2014-0030025

등록번호: 10-1590695

출원일: 2014-03-14

등록일: 2016-01-26

지식재산권 유형: 특허

양수인: 중앙대학교 산학협력단