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박막의 열전특성 측정 키트

Thermal conductive properties measurement kit for thin film

이상권;
박노원;
이원용

초록

박막의 열전특성 측정 키트가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 박막의 열전특성 측정 키트는, 절연층을 포함하는 기판, 상기 기판의 상부면에 제1 전극 패턴이 형성되어, 측정 대상 박막의 Cross-plane 방향으로 열전도도를 측정하는 제1 측정부, 상기 기판의 상부면에 제1 측정부와 수평방향으로 일정 거리 이격 배치되며, 제2 전극 패턴이 형성되어 상기 측정 대상 박막의 In-plane 방향으로 열전도도를 측정하는 제2 측정부, 상기 기판의 상부면에 제2 측정부와 수평방향으로 일정 거리 이격 배치되며, 제3 전극 패턴이 형성되어 상기 측정 대상 박막의 제백계수 또는 전기전도도를 측정하는 제3 측정부를 포함한다.

제목: 박막의 열전특성 측정 키트

제목 (타언어): Thermal conductive properties measurement kit for thin film

저자: 이상권; 박노원; 이원용

발행일: 2019-09-27

출원번호: 10-2018-0027947

등록번호: 10-2028530

출원일: 2018-03-09

등록일: 2019-09-27

지식재산권 유형: 특허

양수인: 중앙대학교 산학협력단