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미세패턴 형성을 위한 유리질 탄소 롤몰드 제조 방법 및 이에 의해 제조된 유리질 탄소 롤몰드
Glassycarbon roll-type mold manufacturing method for micro and nano pattern formation and Glassycarbon roll-type mold manufactured by the method
- 김석민;
- 김준;
- 무하마드리파툴학;
- 김영규
초록
본 발명은 미세패턴 형성을 위한 유리질 탄소 롤몰드 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명에 의한 미세패턴 형성을 위한 유리질 탄소 롤몰드 제조 방법은, 유리 또는 금속과 같은 기판에 마이크로 나노 구조의 미세패턴을 형성시킬 수 있는 롤몰드의 제조방법에 관한 것으로, 상기 기판에 대해 회전되면서 그 기판을 가압할 수 있도록, 상기 미세패턴에 대응되는 형상의 패턴이 형성되어 있는 원주면을 가지는 롤형태로 이루어지고, 열경화성 수지 재질로 이루어지는 롤전구체를 준비하는 단계; 및 상기 롤전구체를 탄화시키는 탄화 공정을 수행하는 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
- 제목
- 미세패턴 형성을 위한 유리질 탄소 롤몰드 제조 방법 및 이에 의해 제조된 유리질 탄소 롤몰드
- 제목 (타언어)
- Glassycarbon roll-type mold manufacturing method for micro and nano pattern formation and Glassycarbon roll-type mold manufactured by the method
- 저자
- 김석민; 김준; 무하마드리파툴학; 김영규
- 발행일
- 2019-11-08
- 출원번호
- 10-2018-0002626
- 등록번호
- 10-2045138
- 출원일
- 2018-01-09
- 등록일
- 2019-11-08
- 지식재산권 유형
- 특허
- 양수인
- 중앙대학교 산학협력단