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투명 전극 ITO/Ag/ITO 박막의 광학적 및 전기적 특성 향상 연구
Improvement of Optical and Electrical Properties of ITO/Ag/ITO Thin Films for Transparent Conducting Electrode
- 신연배;
- 강동원;
- 김제하
초록
우리는 DC/RF 스퍼터링 방법으로 제조된 투명 전도 전극을 위한 ITO/Ag/ITO 다층 박막의 전기적 및 광학적 특성을 연구했다. 제조된 ITO/Ag/ITO 다층 박막은 4-point probe, UV-visible spectroscopy 그리고 Hall measurement을 이용하여 분석하였다. Ag의 두께를 5~10 nm로 조절하였을때, 400~1000 nm의 파장에서 약 80%의 평균 광 투과율을 보였다. 전자이동도는 Ag층의 두께가 증가함에 따라 감소하였고, 전자 농도는 급격히 증가하였다. 그 결과 18Ω/sq의 낮은 면저항을 구현하였다. 본 논문에서는 ITO와 Ag두께의 변화에 따른 투명 전극의 ITO/Ag/ITO 특성을 보고한다
키워드
Transparent conducting electrodes; Thin films; ITO; ITO/Ag/ITO; Mobility; Electron concentration
- 제목
- 투명 전극 ITO/Ag/ITO 박막의 광학적 및 전기적 특성 향상 연구
- 제목 (타언어)
- Improvement of Optical and Electrical Properties of ITO/Ag/ITO Thin Films for Transparent Conducting Electrode
- 저자
- 신연배; 강동원; 김제하
- 발행일
- 2017-11
- 저널명
- 전기전자재료학회논문지
- 권
- 30
- 호
- 11
- 페이지
- 740 ~ 744
- 언어
- KOR
- 출판사
- 한국전기전자재료학회
- 발행국가
- 대한민국
- 분량
- 5 페이지
- ISSN
- E 2288-3258
P 1226-7945