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전기도금 방법으로 제작한 코일을 이용한 초소형 발전기의 특성분석
Characterization of a Micro Power Generator using a Fabricated Electroplated Coil
- 이동호;
- 김성일;
- 김영환;
- 김용태;
- 박민철;
- ... 백창욱;
- 외 1명
초록
전기도금 방법으로 유리기판 위에 제작한 코일과 영구자석을 이용하여 초소형발전기를 제작하였다. 여러 크기의 코일 구조를 설계한 마스크를 제작하고, 이를 이용하여 MEMS 코일을 제작하였다. 그 중 두께가 7㎛ 선폭이 20㎛ 길이가 1.6m인 코일을 선택하여 실험하였다. 광학현미경과 SEM을 사용하여 제작된 코일의 구조를 분석하였다. 또한 모터의 회전운동을 진동운동과 유사한 선형운동으로 변환하는 진동발생시스템을 제작하였고, 자석과 코일을 진동발생장치에 설치하고 진동을 발생시키면 교류전압이 발생한다. 0.5㎐에서 8㎐까지 진동주파수를 변화시켜 특성을 측정하였다. 발생된 전압은 3㎐에서 106㎷가 발생하였고, 6㎐에서 198㎷가 발생하였다. 본 연구의 목적은 쓸모없이 버려지는 진동에너지를 유용한 전기에너지로 변환하는 초소형발전기 소자를 제작하는 것이다.
키워드
MPG(Micro Power Generator); RFID(Radio Frequency IDentification); MEMS; coil; magnet
- 제목
- 전기도금 방법으로 제작한 코일을 이용한 초소형 발전기의 특성분석
- 제목 (타언어)
- Characterization of a Micro Power Generator using a Fabricated Electroplated Coil
- 저자
- 이동호; 김성일; 김영환; 김용태; 박민철; 이창우; 백창욱
- 발행일
- 2006
- 저널명
- 마이크로전자 및 패키징학회지
- 권
- 13
- 호
- 3
- 페이지
- 9 ~ 12
- 출판사
- 한국마이크로전자및패키징학회
- 발행국가
- 대한민국
- 분량
- 4 페이지
- ISSN
- P 1226-9360