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내열성이 향상된 과불소고무 복합체 및 이의 제조 방법
PERFLUORO ELASTOMER COMPOSITE WITH IMPROVED HEAT RESISTANCE, AND METHOD OF FABRICATING THE SAME
- 박주현;
- 임기환
초록
본 발명은 반도체 공정의 실링에 이용되는 내열성이 향상된 과불소고무 복합체 및 이의 제조방법에 대한 것으로서, 지르코니아 입자를 과불소알킬기로 개질하여 내열성 입자 충전제를 과불소 고무 원료에 균일하게 분산시킴으로써 고온 공정에서도 성능이 감소하지 않는 과불소고무 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
- 제목
- 내열성이 향상된 과불소고무 복합체 및 이의 제조 방법
- 제목 (타언어)
- PERFLUORO ELASTOMER COMPOSITE WITH IMPROVED HEAT RESISTANCE, AND METHOD OF FABRICATING THE SAME
- 저자
- 박주현; 임기환
- 발행일
- 2021-11-02
- 출원번호
- 10-2021-0081471
- 등록번호
- 10-2323568
- 출원일
- 2021-06-23
- 등록일
- 2021-11-02
- 지식재산권 유형
- 특허
- 양수인
- 중앙대학교 산학협력단