다중 자외선 조사를 이용한 상온 구동 산화물 반도체 가스 센서

초록

본 발명은 다중 자외선 조사를 이용한 상온 구동 산화물 반도체 가스 센서에 관한 것이다. 본 발명은 기존의 높은 열에 의해 동작하는 산화물 반도체형 가스센서의 한계를 극복하여 빛 에너지로 상온구동이 가능하며, 동시에 높은 반응성 및 빠른 탈착 속도를 확보할 수 있다. 기존에는 한 가지 파장(에너지)의 빛 아래서 동작할 때, 높은 반응성 또는 빠른 표면 반응 둘 중 한 가지만 확보할 수 있었다면, 본 발명으로 사용하는 빛의 파장을 적절한 시기에 맞춰 인가하여 높은 반응성과 빠른 표면 반응 모두 확보할 수 있다는 장점을 갖는다.