마이크로 공진기 센서

초록

【요약】 【과제】센서의 소형화에 따른 방사 손실실을 최소화하고 언제 어디에서라도 이용할 수 있도록 온칩에 집적화된 초소형 고감도 마이크로 공진기 센서를 제공한다. 【해결 수단】주도 하지는 광신호가 입사되는 입사구와 광신호가 출사되는 출사구를 구비하고, 입사구를 통해 입력된 광신호의 일부가 분기되는 광결합 영역을 가진다. 공진 도파로는 주도 하지의 광결합 영역과 광결합되어 주도 하지에서 분기되는 분기 광신호가 입력되는 광결합 영역을 가지며, 복수의 광도파로가 다각형상으로 배치되어 구성된다. 또한 공진 도파로를 구성하는 광도파로 중 적어도 하나의 광도파로에는 개구부가 형성된다. 광 경로 변경 수단은 공진 도파로를 형성하는 각각의 광도파로가 접하는 정점 영역에 마련되어 공진 도파로에 입력되는 분기 광신호 중 적어도 일부를 반사시켜 분기 광신호가 공진 도파로 내를 주회하도록 한다. 【선택도】도 5