디스크 레조네이터

초록

본 발명은 바이오 센서, 가스 센서, 압력 센서 및 주파수 필터 등으로 응용될 수 있는 디스크 레조네이터에 관한 것으로서, 구체적으로 디스크 레조네이터는 바이어스 전원이 입력되는 제1전극을 구비하는 원판 디스크; 탄성재질에 의하여 고정되는 전극부; 상기 원판 디스크과 전극부 사이의 용량성 간극이 존재하고, 상기 전극부를 정전기력으로 견인하여 상기 원판 디스크와 상기 전극부간의 용량성 간극을 최소화시키는 견인부; 상기 전극부의 상기 원판 디스크 방향으로의 최대 이동을 제한하는 제한부;를 포함한다. 본 발명에 따르면, 견인부에 의하여 원판 디스크와 전극부 간에 형성되는 용량성 간극의 간격이 레조네이터가 동작하는 중 줄어들도록 함으로써, 제작 시 간극은 크지만 동작 중 간극은 최소화하여 신호검출이 용이하도록 하였다. 이는 종래의 기술에 비하여 적은 비용 및 간단한 구조만으로도 수백 나노 단위의 간극 크기를 형성할 수 있는 효과가 있다.