유리질 탄소 몰드의 제조 방법

초록

본 발명은 유리질 탄소 몰드의 제조방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 마이크로 나노 공정으로 형성한 마스터 패턴 및 열경화성 수지 기판 사이에 열경화성 수지, 경화제 및 점도 조절용 용매를 포함하는 혼합물을 위치시키는 단계; 상기 마스터 패턴 또는 상기 열경화성 수지 기판을 압착시키고, 열을 가하여 기판상에 경화된 열경화성 수지 패턴부를 형성하는 단계; 및 마스터 패턴을 분리하고 기판 및 기판상에 경화된 열경화성 수지 패턴부에 탄화 공정을 수행하는 단계;를 포함하는 유리질 탄소 몰드의 제조방법에 관한 것이다.