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저온 공정을 이용한 산화물 박막 제조방법, 산화물 박막 및 그 전자소자
METHOD FOR MANUFACTURING METAL-OXIDE THIN FILM USING LOW TEMPERATURE PROCESS, THIN FILM, AND ELECTRIC DEVICE THEREOF
- 김영훈;
- 박성규
초록
저온 공정을 이용한 산화물 박막 제조방법 및 그 전자소자의 제조방법이 개시된다. 본 발명의 일실시예에 따른 산화물 박막 제조방법은 산화물 용액을 기판 상에 코팅하는 단계와 불활성 가스 분위기 하에서 상기 코팅된 산화물 용액에 자외선 조사하는 단계를 포함한다.
- 제목
- 저온 공정을 이용한 산화물 박막 제조방법, 산화물 박막 및 그 전자소자
- 제목 (타언어)
- METHOD FOR MANUFACTURING METAL-OXIDE THIN FILM USING LOW TEMPERATURE PROCESS, THIN FILM, AND ELECTRIC DEVICE THEREOF
- 저자
- 김영훈; 박성규
- 발행일
- 2014-10-23
- 출원번호
- 10-2012-0137532
- 등록번호
- 10-1456237
- 출원일
- 2012-11-30
- 등록일
- 2014-10-23
- 지식재산권 유형
- 특허
- 양수인
- 한국전자기술연구원; 중앙대학교 산학협력단