마이크로 구조체를 이용한 센서

초록

마이크로 구조체를 이용한 센서가 개시된다. 개시된 센서는 외부 변화를 감지하는 센서로서, 전압제어 발진기를 포함하는 위상 고정 루프; 일단이 상기 전압제어 발진기의 입력단과 연결되고, 타단이 상기 전압제어 발진기의 출력단과 연결되며, 인덕터 및 캐패시터를 포함하는 마이크로 구조체; 및 상기 전압제어 발진기의 입력단에 입력되는 제어전압 및 상기 전압제어 발진기의 출력단에서 출력되는 출력신호의 주파수 중 적어도 하나를 측정하여 센싱값을 측정하는 측정부;를 포함한다.