형광 신호 증폭 기판 제조 방법과 이 방법을 이용한 DNA 및 단백질 마이크로어레이칩

초록

본 발명은, 스탬프 기판 상에 나노 구조물을 준비하는 단계; 상기 나노 구조물 상에 메인 기판을 배치하는 단계; 상기 메인 기판 상에 상기 나노 구조물에 대응하는 나노 패턴이 형성되도록 하는 단계; 상기 나노 패턴 상에 회전 경사 증착 공정에 의해 금속층을 형성하는 단계; 를 포함하는 형광 신호 증폭 기판 제조 방법을 제공한다. 본 발명은, 기판 상에 나노 구조물을 균일하게 형성하고, 나노 구조물 상에는 증착 또는 회전 경사 증착에 의해 금속층을 형성하여 균일한 형광신호 증폭 특성을 나타내고, 기판상의 나노 구조물에 비금속층을 증착하고, 그 상부에 금속층을 증착하여 나노 구조물의 사이에서 발생하는 전자기장의 세기가 증가되도록 하며, 기판 상의 나노 구조물에 회전 경사 증착에 의해 나노로드를 형성하여, 표면적 증가와 표면 플라즈몬 효과에 의해 형광 신호 증폭 특성을 향상시키는 효과를 갖는다.