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기판의 표면처리를 통한 박막 및 그의 제조방법
Thin film through substrate surface treatment and its method for preparing the same
- 김명길;
- 안경한;
- 김영훈;
- 김가혜;
- 박성규
초록
본 발명의 일 실시예는 기판의 표면을 NH 기능기를 포함하는 화합물로 표면처리하여 박막의 품질을 향상시키는 박막 제조방법을 제공한다.
- 제목
- 기판의 표면처리를 통한 박막 및 그의 제조방법
- 제목 (타언어)
- Thin film through substrate surface treatment and its method for preparing the same
- 저자
- 김명길; 안경한; 김영훈; 김가혜; 박성규
- 발행일
- 2024-08-08
- 출원번호
- 10-2023-0083061
- 등록번호
- 10-2694730
- 출원일
- 2023-06-27
- 등록일
- 2024-08-08
- 지식재산권 유형
- 특허
- 양수인
- 성균관대학교산학협력단; 중앙대학교 산학협력단