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CNT를 이용한 1차원 섬유 기반 전자소자 제조방법 및 그 전자소자

Method for manufacturing of electronic device based on 1-dimentional fiber using Carbonnanotube and electronic device thereof

박성규

초록

CNT를 이용한 1차원 섬유 기반 전자소자 제조방법 및 그 전자소자가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 CNT를 이용한 1차원 섬유 기반 전자소자 제조방법은 1차원 섬유기판에 탄소나노튜브를 코팅하여 CNT(Carbonnanotube) 박막을 형성하는 단계, 상기 CNT 박막에 자외선을 조사하여 복수의 제1형 채널을 패터닝하는 단계, 상기 복수의 제1형 채널중 적어도 하나에 제2형 도펀트를 도핑(doping)하여 제2형 채널로 변환하는 단계를 포함한다.

제목: CNT를 이용한 1차원 섬유 기반 전자소자 제조방법 및 그 전자소자

제목 (타언어): Method for manufacturing of electronic device based on 1-dimentional fiber using Carbonnanotube and electronic device thereof

저자: 박성규

발행일: 2019-09-17

출원번호: 10-2017-0145783

등록번호: 10-2024133

출원일: 2017-11-03

등록일: 2019-09-17

지식재산권 유형: 특허

양수인: 중앙대학교 산학협력단