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기판 집적 도파관을 이용한 압력센서
PRESSURE SENSOR USING SUBSTRATE INTEGRATED WAVEGUIDE TECHNOLOGY
초록
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 집적 도파관을 이용한 압력센서는 소정 크기의 개구홀이 구비되는 기판, 상기 개구홀에 삽입되며 외부로부터 가해지는 압력에 의해 탄성 변형되는 탄성체, 상기 탄성체가 삽입된 상기 기판의 상부에 형성되며 중앙부에 다수의 슬릿이 구비되는 전도성의 금속체 및 상기 금속체와 연결되는 급전라인을 포함한다.
- 제목
- 기판 집적 도파관을 이용한 압력센서
- 제목 (타언어)
- PRESSURE SENSOR USING SUBSTRATE INTEGRATED WAVEGUIDE TECHNOLOGY
- 저자
- 임성준
- 발행일
- 2021-11-02
- 출원번호
- 10-2020-0066544
- 등록번호
- 10-2323275
- 출원일
- 2020-06-02
- 등록일
- 2021-11-02
- 지식재산권 유형
- 특허
- 양수인
- 중앙대학교 산학협력단