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용액공정을 이용한 산화물 박막 소결용 자외선 램프 장치
METHOD FOR MANUFACTURING METAL-OXIDE THIN FILM USING LOW TEMPERATURE PROCESS, THIN FILM, AND ELECTRIC DEVICE THEREOF
- 김영훈;
- 오민석;
- 김지완;
- 박성규
초록
용액공정을 이용한 산화물 박막 소결용 자외선 램프 장치이 개시된다. 본 자외선 램프 장치는 샘플탑재부와 내부에 챔버 공간을 가지고 샘플탑재부를 에워싸는 구조를 갖는 하우징을 구비하되, 챔버 공간의 상부에는 샘플탑재부와 대향되게 형성되어 하부로 자외선을 조사하기 위한 자외선 램프부를 포함하고, 하우징의 일영역에는 상기 샘플탑재부의 탑재된 샘플에 상기 불활성가스를 주입하기 위한 불활성가스 주입부를 구비한다.
- 제목
- 용액공정을 이용한 산화물 박막 소결용 자외선 램프 장치
- 제목 (타언어)
- METHOD FOR MANUFACTURING METAL-OXIDE THIN FILM USING LOW TEMPERATURE PROCESS, THIN FILM, AND ELECTRIC DEVICE THEREOF
- 저자
- 김영훈; 오민석; 김지완; 박성규
- 발행일
- 2014-10-23
- 출원번호
- 10-2012-0153255
- 등록번호
- 10-1456238
- 출원일
- 2012-12-26
- 등록일
- 2014-10-23
- 지식재산권 유형
- 특허
- 양수인
- 한국전자기술연구원; 중앙대학교 산학협력단