공진기 센서

초록

본 발명은 공진기 센서에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 다각형 공진기 센서에 관한 것이다. 본 발명은 작은 사이즈로 설계가 가능하고, 뛰어난 재현성과 향상된 민감도를 가지며, 소멸파를 이용한 결합 방식이 아닌 광 결합 방식을 이용하여 공정 오차에 덜 민감하여 제작 시 소자의 성능 편차가 심하지 않아 상업화에 유리하다.