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유기 단결정 성장을 이용한 유기 반도체 제조 방법 및 이에 의해 제조된 유기 반도체

METHOD FOR MANUFACTURING ORGANIC SEMI-CONDUCTOR USING SINGLE CRYSTAL GROWTH AND ORGANIC SEMI-CONDUCTOR THEREOF

박성규

초록

본 발명의 일 실시예에 의한 유기 반도체 제조방법은 기판에 유기 박막을 형성하는 단계, 상기 유기 박막의 일부 영역에 자외선을 조사하기 위해 포토마스크를 얼라인하는 단계, 상기 유기 박막에 자외선을 조사하여 상기 유기 박막 상에 가교 영역 및 비가교 영역을 포함하는 패턴을 형성하는 단계, 상기 패턴이 형성된 유기 박막에 유기 용액을 코팅하는 단계 및 용매 증기 어닐링을 통해 상기 비가교 영역에 유기 단결정을 성장시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

제목: 유기 단결정 성장을 이용한 유기 반도체 제조 방법 및 이에 의해 제조된 유기 반도체

제목 (타언어): METHOD FOR MANUFACTURING ORGANIC SEMI-CONDUCTOR USING SINGLE CRYSTAL GROWTH AND ORGANIC SEMI-CONDUCTOR THEREOF

저자: 박성규

발행일: 2018-12-21

출원번호: 10-2016-0162581

등록번호: 10-1933386

출원일: 2016-12-01

등록일: 2018-12-21

지식재산권 유형: 특허

양수인: 중앙대학교 산학협력단