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초록
소자 전사 장치가 제공된다. 소자 전사 장치는, 복수의 소자 홀을 포함하는 기판을 수용하는 다각형 형태의 용기(container), 진동을 생성하여 상기 용기 내의 유체로 진동을 전달하는 복수의 진동원, 상기 복수의 진동원 각각의 출력을 제어하는 프로세서를 포함한다. 복수의 진동원은 중심점으로부터 제1 거리의 반지름을 갖는 제1 원의 원주에 배치된 적어도 하나의 제1 그룹 진동원, 및 상기 제1 거리보다 긴 거리인 제2 거리의 반지름을 갖고 상기 제1 원과 동심원인 제2 원의 원주에 배치된 적어도 하나의 제2 그룹 진동원을 포함하고, 용기는, 상기 중심점 상에 배치되고, 유체 및 상기 유체 내에 분포된 마이크로 소자를 수용하고, 프로세서는, 상기 적어도 하나의 제1 그룹 진동원 또는 상기 적어도 하나의 제2 그룹 진동원 중 적어도 하나로부터 출력 주파수의 진동을 출력하도록 제어한다.
- 제목
- 복수의 진동원을 이용한 소자 전사 장치 및 그 제어 방법
- 제목 (타언어)
- Element transfer device using multiple vibration sources and method for controlling the same
- 저자
- 유재수; 고용태
- 발행일
- 2026-03-05
- 출원번호
- 10-2024-0039206
- 등록번호
- 10-2937382
- 출원일
- 2024-03-21
- 등록일
- 2026-03-05