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수직 적층 트랜지스터, 이를 포함하는 표시 장치, 및 그 제조 방법
VERTICAL STACK TRANSISTOR, DISPLAY DEVICE COMPRISING THE SAME, AND MANUFACTURING METHOD THREREOF
- 김태영;
- 박종우;
- 권혁인;
- 김대환;
- 김희중;
- 외 1명
초록
본 발명의 수직 적층 트랜지스터는, 서로 수직 방향으로 위치한 제1 트랜지스터 및 제2 트랜지스터를 포함하고, 상기 제1 트랜지스터는 상기 수직 방향으로 순차적으로 적층된 제1 게이트 전극, 제1 절연층, 제1 일전극, 제1 채널, 및 제1 타전극을 포함하고, 상기 제2 트랜지스터는 상기 수직 방향으로 순차적으로 적층된 제2 게이트 전극, 제2 절연층, 제2 일전극, 제2 채널, 및 제2 타전극을 포함하고, 상기 제2 게이트 전극과 상기 제1 타전극은 동일한 전극이다.
- 제목
- 수직 적층 트랜지스터, 이를 포함하는 표시 장치, 및 그 제조 방법
- 제목 (타언어)
- VERTICAL STACK TRANSISTOR, DISPLAY DEVICE COMPRISING THE SAME, AND MANUFACTURING METHOD THREREOF
- 저자
- 김태영; 박종우; 권혁인; 김대환; 김희중; 홍세영
- 발행일
- 2022-11-10
- 출원번호
- 10-2018-0001378
- 등록번호
- 10-2467465
- 출원일
- 2018-01-04
- 등록일
- 2022-11-10
- 지식재산권 유형
- 특허
- 양수인
- 삼성디스플레이 주식회사; 중앙대학교 산학협력단