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미세버블이 포함된 세정액의 pH 조절을 통한 세정 방법 및 장치
CLEANING METHOD AND APPARATUS BY CONTROLLING pH OF CLEANING LIQUID INCLUDING NANO BUBBLE
- 김종민;
- 이정일;
- 채종이;
- 황민섭
초록
본 발명은 미세버블이 포함된 세정액의 pH 조절을 통한 세정 방법 및 장치에 관한 것이다. 본 발명은 표면에 오염물질이 형성된 가공물을 세정하기 위한 미세버블이 포함된 세정액의 pH 조절을 통한 세정 방법에 있어서, 미세버블이 포함된 세정액의 pH를 조절함으로써, 상기 미세버블의 표면 전하와 상기 오염물질의 표면 전하가 반대극성의 전하로 대전되도록 할 수 있다.
- 제목
- 미세버블이 포함된 세정액의 pH 조절을 통한 세정 방법 및 장치
- 제목 (타언어)
- CLEANING METHOD AND APPARATUS BY CONTROLLING pH OF CLEANING LIQUID INCLUDING NANO BUBBLE
- 저자
- 김종민; 이정일; 채종이; 황민섭
- 발행일
- 2019-03-07
- 출원번호
- 10-2017-0083248
- 등록번호
- 10-1957900
- 출원일
- 2017-06-30
- 등록일
- 2019-03-07
- 지식재산권 유형
- 특허
- 양수인
- 중앙대학교 산학협력단